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1099nm纳秒激光器

• 产品特点:

高输出功率

具备脉冲形状编辑功能

脉宽、重频可调满足多种加工需求

支持 Burst/ PSO/ POD等多种脉冲控制方式

稳定可靠的一体化结构设计

• 应用领域:

半导体晶圆隐形切割

1099nm纳秒激光器

ISL-NS 系列1099nm纳秒激光器是由爱鸥光学自主研发生产的,具备高功率、紧凑设计、高稳定性和高可靠性特点的光纤激光器产品。本产品采用全栈自研技术,利用巧妙的光学手段进行噪声抑制,输出功率可达30W;脉冲宽度和重复频率支持自由调节,结合脉冲输出控制和脉冲形状编辑功能,是半导体材料精准高效切割的绝佳选择。内部采用模块化设计思路,整机为光电一体化紧凑设计,可以有效支撑长期稳定运行。

产品数据

技术指标 SPECIFICATIONS

ISL-NS-1099-20

ISL-NS-1099-30

中心波长(Wavelength)

1099±1 nm

* 平均功率(Average Power)

20 W

30 W

光谱信噪比(Spectral SNR)

> 30 dB

工作方式(Operating mode)

脉冲

脉冲重频(Repetition rate)

100-150 kHz

脉冲宽度(Pulse width)

100-800 ns

光谱宽度(Spectral width)

< 1 nm

光斑圆度(Beam circularity)

> 90 %

光斑尺寸(Beam size)

5±0.5 mm

偏振消光比(Polarization Extinction Ratio)

> 100:1

光束质量(Beam Quality)

M2≤ 1.2

发散角(Beam divergence)

≤ 0.15 mrad

功率稳定性(Power Stability)

< 1% @8h

制冷方式(Refrigeration)

水冷

* 可定制更高功率输出


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