
一、先进封装需要先进的超快激光
对于先进封装工艺而言,如TGV通孔加工、激光划线、激光解键合等加工应用场景,都需要超快激光(尤其是飞秒激光)的“稳、准、狠”的加工优势。除了飞秒激光持续时间短、峰值功率高带来的先天优势,半导体行业尤其看重长期工作的稳定性和可靠性。
尤其是“稳定性”,已经不仅仅是参数指标,更是直接影响真金白银的生产良率。在加工过程中任何激光能量的微小波动都可能导致灾难性后果。因此对于超快激光器产品的平均功率稳定性、脉冲能量稳定性、指向稳定性等指标都提出了极为苛刻的要求。

二、智能稳定激光器-2μm飞秒激光器
爱鸥光学作为智能光学调控领域的引领者,始终致力于AI和光学领域的深度融合。凭借独创的激光“感知+算法+控制”全栈技术,爱鸥光学首创了智能稳定激光器这一全新的激光器产品品类,通过对飞秒脉冲的全域智能识别以及整机参数的全局优化控制,提供无与伦比的稳定性和抗干扰能力。
ISL-IR系列智能稳定2μm飞秒激光器是爱鸥光学专门针对半导体先进封装工艺研发的智能稳定激光器产品之一。采用自研的种子源和放大级结构,保证稳定可靠的中红外波段输出,同时具备灵活的输出可调选项。
该产品可广泛应用于半导体晶圆加工、光学波导芯片加工、精密光谱仪和气体传感、生物医疗、OPV/ PV/ OLED加工等应用领域。
产品实测性能优异:
输出平均功率的归一化均方根误差(Normalized root-mean-squared error, NRMSE)低于0.5%
脉冲宽度的NRMSE低于5%
单脉冲能量的NRMSE低于0.5%

